Effect of Plasma on Characteristics of Zirconium Oxide Films Deposited by Plasma-Enhanced Atomic Layer Deposition
Autor: | Jung Wook Lim, Jin Ho Lee, Sun Jin Yun |
---|---|
Rok vydání: | 2005 |
Předmět: | |
Zdroj: | Electrochemical and Solid-State Letters. 8:F47 |
ISSN: | 1099-0062 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |