Autor:	Vladimir Vishnyakov, John Colligon
Rok vydání:	2020
Předmět:	Materials science business.industry Sputtering Surface modification Optoelectronics Thin film business
Zdroj:	Surface and Interface Science. :1-55
DOI:	10.1002/9783527822492.ch61
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::d838a0dcfcf9c219c55d7ac14076db40 https://doi.org/10.1002/9783527822492.ch61 Zobrazit plný text záznamu