Spatiotemporal Mapping of Hole Nucleation and Growth during Block Copolymer Terracing with High-Speed Atomic Force Microscopy
| Autor: | Julia G. Murphy, Jonathan G. Raybin, Genevieve E. Ansay, Steven J. Sibener |
|---|---|
| Rok vydání: | 2023 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | ACS Nano. 17:5644-5652 |
| ISSN: | 1936-086X 1936-0851 |
| DOI: | 10.1021/acsnano.2c11672 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|