Determining the Polarization Fraction of Thin Film Ferroelectric HZO with STEM EBIC
| Autor: | Ho Leung Chan, Shelby S Fields, Tristan O'Neill, Yueyun Chen, William A Hubbard, Jon F Ihlefeld, B C Regan |
|---|---|
| Rok vydání: | 2022 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | Microscopy and Microanalysis. 28:2270-2271 |
| ISSN: | 1435-8115 1431-9276 |
| DOI: | 10.1017/s1431927622008728 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|