Autor:	Kazutaka G. Nakamura, Masahiro Kitajima, Takaya Kawabe, I. Kamioka, Shunichi Hishita
Rok vydání:	1995
Předmět:	Materials science Silicon chemistry Inorganic chemistry Oxygen ions chemistry.chemical_element Plasma
Zdroj:	Hyomen Kagaku. 16:504-509
ISSN:	1881-4743 0388-5321
DOI:	10.1380/jsssj.16.504
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::d626b0d19f8b3d576f4611f826e3ef5c https://doi.org/10.1380/jsssj.16.504 Zobrazit plný text záznamu