REDUCTION OF TUNGSTEN PRECURSORS IN INDUCTIVELY COUPLED RF DISCHARGE
| Autor: | Marek Elias, Jan Janca, J. Zila, Vlastimil Brozek |
|---|---|
| Rok vydání: | 2023 |
| Zdroj: | Proceeding of Progress in Plasma Processing of Materials, 2003. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|
| Autor: | Marek Elias, Jan Janca, J. Zila, Vlastimil Brozek |
|---|---|
| Rok vydání: | 2023 |
| Zdroj: | Proceeding of Progress in Plasma Processing of Materials, 2003. |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|