REDUCTION OF TUNGSTEN PRECURSORS IN INDUCTIVELY COUPLED RF DISCHARGE
Autor: | Marek Elias, Jan Janca, J. Zila, Vlastimil Brozek |
---|---|
Rok vydání: | 2023 |
Zdroj: | Proceeding of Progress in Plasma Processing of Materials, 2003. |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |