Comparative Study of Ion-Induced Damage Formation in GaN and beta-Ga2O3

Autor:	Konstantin V. Karabeshkin, Platon A. Karaseov, Andrei I. Struchkov, Andrei I. Titov, Alexander Azarov, Daniela S. Gogova
Rok vydání:	2022
Zdroj:	Springer Proceedings in Physics ISBN: 9783030811181
DOI:	10.1007/978-3-030-81119-8_26
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::d586f0c7ba063bdc486d54c75822a4fd https://doi.org/10.1007/978-3-030-81119-8_26 Zobrazit plný text záznamu