Autor:	D. Scott Becker, William R. Schmidt, Don C. Burkman, Charlie A. Peterson
Rok vydání:	1986
Předmět:	Materials science business.industry Optoelectronics Wafer business
Zdroj:	ACS Symposium Series ISBN: 9780841209343 Microelectronics Processing: Inorganic Materials Characterization
DOI:	10.1021/bk-1986-0295.ch023
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::d552df6107ca167e2710e0ea104cae60 https://doi.org/10.1021/bk-1986-0295.ch023 Zobrazit plný text záznamu