Flächeneinfluss bei der PACVD-Beschichtung

Autor: Jasmin Martin, Karsten Stahl, Johann Schnagl, Lisa Krell
Rok vydání: 2010
Předmět:
Zdroj: Vakuum in Forschung und Praxis. 22:6-10
ISSN: 1522-2454
0947-076X
Popis: In der Automobilindustrie werden wirtschaftliche und stabile Prozesse zur Beschichtung mit Hartstoffschichten fur tribologische Anwendungen benotigt. Daher ist es erforderlich, den Einfluss der Beschichtungsparameter auf die Schichteigenschaften zu kennen. In vorliegender Untersuchung wird die Beschichtung mittels plasmaunterstutzter chemischer Gasphasenabscheidung betrachtet. Hauptsachlich wird der Einfluss der in die Beschichtungskammer eingebrachten aktiven Flache auf die Eigenschaften amorpher Kohlenstoffschichten (DLC) gepruft. Die Herstellung der Beschichtungen erfolgt in einer industriellen Beschichtungskammer bei einer Frequenz von 40 kHz, mit konstanter Bias Spannung und gleichbleibendem Kammerdruck. Die Versuche bestatigen eine Korrelation zwischen aktiver Flache und Stromdichte, wodurch auch die mechanischen und tribologischen Eigenschaften der DLC-Schichten beeinflusst werden. Durch gezielte Regelung der Stromdichte wird es moglich, auch bei unterschiedlich groser aktiver Flache gleichbleibende Schichteigenschaften zu erzielen und eine Verbesserung der Schichtqualitat in Bezug auf ihren Verschleis bei hochbelasteten Motorbauteilen zu erreichen. Impact of the active surface on properties of DLC films in the PACVD coating chamber. In the automotive industry, economic and stable industrial processes to apply hard coatings for tribological applications are required. Hence detailed knowledge about the influence of coating parameters on the film characteristics is essential. the following paper deals with the process of plasma activated chemical vapor deposition with focus on the effect of the parameter “active area in the coating chamber“ on the properties of diamond-like-carbons (DLC). the coatings are deposited in an industrial coating chamber using reactive magnetron sputtering with a pulsed bias voltage (40 kHz) and at constant pressure. During the investigation of the influence of active area and current density on the mechanical and tribological properties of the DLC films, the expected correlation between active area and current density could be confirmed. By regulating the current density, consistent film properties could be achieved, independently of the active area in the chamber. Furthermore improved wear characteristics of the film – crucial for the endurance of heavily loaded automotive components – were achieved by adapting the load pattern of the chamber.
Databáze: OpenAIRE
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