Demonstration of a Nanosheet FET With High Thermal Conductivity Material as Buried Oxide: Mitigation of Self-Heating Effect
Autor: | Sunil Rathore, Rajeewa Kumar Jaisawal, P. N. Kondekar, Navjeet Bagga |
---|---|
Rok vydání: | 2023 |
Předmět: | |
Zdroj: | IEEE Transactions on Electron Devices. 70:1970-1976 |
ISSN: | 1557-9646 0018-9383 |
DOI: | 10.1109/ted.2023.3241884 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |