Unintentional doping effect in Si-doped MOCVD β-Ga2O3 films: Shallow donor states

Autor: Xueqiang Xiang, Li-Heng Li, Chen Chen, Guangwei Xu, Fangzhou Liang, Pengju Tan, Xuanze Zhou, Weibing Hao, Xiaolong Zhao, Haiding Sun, Kan-Hao Xue, Nan Gao, Shibing Long
Rok vydání: 2022
Předmět:
Zdroj: Science China Materials. 66:748-755
ISSN: 2199-4501
2095-8226
DOI: 10.1007/s40843-022-2167-x
Databáze: OpenAIRE