TEM Cross-Section Sample (XTEM) Preparation of nc-Si/a-SiO2 Multi-Layer Thin Film Using cryo Ar+ Ion Slicing for Microstructural Analyses

Autor:	R. Siddheswaran, Rostislav Medlin, Pavel Calta, C. Esther Jeyanthi
Rok vydání:	2022
DOI:	10.9734/bpi/racms/v2/3260b
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::d3f9b9d0fecb3a2918bbec97b2637abb https://doi.org/10.9734/bpi/racms/v2/3260b Zobrazit plný text záznamu