Cathode sputtering of niobium and its alloys in a helium glow discharge
Autor: | V. B. Volkov, P. I. Kartsev, N. M. Kirilin, B. A. Kalin, D. M. Skorov |
---|---|
Rok vydání: | 1975 |
Předmět: | |
Zdroj: | Soviet Atomic Energy. 38:431-432 |
ISSN: | 1573-8205 0038-531X |
DOI: | 10.1007/bf01130955 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |