Плазменные процессы роста и травления Ð½Ð¸Ñ‚Ñ€Ð¸Ð´Ð½Ñ‹Ñ Ð¼Ð°Ñ‚ÐµÑ€Ð¸Ð°Ð»Ð¾Ð²

Jazyk: ruština
Rok vydání: 2022
Předmět:
DOI: 10.18720/spbpu/2/r22-21
Popis: Диссертация посвящена селективному плазменному травлению нитрида и высокотемпературному синтезу нанотрубок нитрида бора. В работе впервые показано, что колебательно возбужденные молекулы фтороводорода инициируют травление нитрида кремня без травления оксида кремния. Предложена аналитическая модель, описывающая скорость травления нитрида и оксида кремния от концентраций реагентов, Ñ‚Ð°ÐºÐ¸Ñ ÐºÐ°Ðº HF(v0), HF(v1), H2O, F. Впервые предложен подробный Ð¼ÐµÑ Ð°Ð½Ð¸Ð·Ð¼ образования прекурсоров роста нанотрубок нитрида бора при высокотемпературном синтезе в смеси B/N2. Показано, что фиксация молекулярного и потребление бора – это связанные процессы, которые протекают в неравновесном режиме при Ñ‚Ð¸Ð¿Ð¸Ñ‡Ð½Ñ‹Ñ Ð´Ð»Ñ синтеза ÑÐºÐ¾Ñ€Ð¾ÑÑ‚ÑÑ Ð¾Ñ Ð»Ð°Ð¶Ð´ÐµÐ½Ð¸Ñ газа. Показано, что высокое давление, медленная скорость Ð¾Ñ Ð»Ð°Ð¶Ð´ÐµÐ½Ð¸Ñ газа и низкая начальная концентрация бора смещают реакции образования прекурсоров в сторону равновесия, что в свою очередь увеличивает эффективность потребления бора.
Databáze: OpenAIRE
Externí odkaz: