SNMS — Tiefenauflösung von Dünnschichtstrukturen bis zu physikalisch möglichen Grenzen

Autor:	J. Scherle, H. Oechsner
Rok vydání:	1990
Předmět:	Condensed Matter Physics Surfaces Coatings and Films
Zdroj:	Vakuum in Forschung und Praxis. 2:245-247
ISSN:	1522-2454 0947-076X
DOI:	10.1002/vipr.19900020403
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::d2b6d242f47bdf381f18125b0c1d880d https://doi.org/10.1002/vipr.19900020403 Zobrazit plný text záznamu Plný text