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Zusammenfassung Zur Charakterisierung der chemischen Eigenschaften von Flüssigkeiten und Gasen wird oftmals der mittlere Infrarotbereich verwendet. Um einen vollständig integrierten IR-Absorptionssensor herzustellen, werden thermische IR-Strahler und IR-Detektoren eingesetzt. Des Weiteren werden Gitterkoppler verwendet, um die IR-Strahlung in den als Absorptionselement verwendeten Wellenleiter einzukoppeln. Da die Kopplungseffizienz der eingesetzten Gitterkoppler entscheidenden Einfluss auf die Sensitivität des Gesamtsystems hat, werden in dieser Arbeit die Kopplungseigenschaften der eingesetzten Koppler in Bezug auf thermische Strahlung untersucht. |
