Пленочные покрытия системы тантал–кадмий: получение, фазовый состав и структура

Rok vydání: 2015
Předmět:
Zdroj: Физика металлов и металловедение. 116:59-66
ISSN: 0015-3230
DOI: 10.7868/s001532301501012x
Popis: Ионно-плазменным распылением и соосаждением ультрадисперсных частиц Ta и Cd впервые получены твердые растворы – сплавы до концентрации 66.2 ат. % Cd в виде покрытий, что является подтверждением термофлуктуационного плавления и коалесценции малых частиц. При формировании покрытий нанослоями тантала и кадмия происходит взаимное растворение компонент с образованием твердых растворов одного металла в другом. При концентрации Cd более 44.4 ат. % в сплавах происходит смена тетрагональной решетки на объемно-центрированную кубическую решетку -. Начиная с 74.4 ат. %, кадмий формирует свой тип гексагональной решетки, а танал в покрытиях представлен аморфной фазой. Констатировано образование твердых растворов внедрения на основе и Cd и замещения на основе -. При 700°C кадмий из твердых растворов на основе тантала испаряется с образованием пористого тантала, а из покрытий, представленных смесью твердого раствора тантала в кадмии и аморфного Та образуется тантал с чрезвычайно развитой поверхностью. Полученные материалы на основе тантала предполагают технологическое использование результатов исследования.
Databáze: OpenAIRE