Thin-Film PVD (Rotary Target)
Autor: | Marcus Bender |
---|---|
Rok vydání: | 2018 |
Předmět: | |
Zdroj: | Flat Panel Display Manufacturing |
DOI: | 10.1002/9781119161387.ch11_03 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |
Autor: | Marcus Bender |
---|---|
Rok vydání: | 2018 |
Předmět: | |
Zdroj: | Flat Panel Display Manufacturing |
DOI: | 10.1002/9781119161387.ch11_03 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |