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Filmes finos de VOX (camada e multicamadas) foram fabricados por pulverizacao catodica com radiofrequencia assistida por campo magnetico constante para aplicacao em detectores de radiacao infravermelha do tipo bolometro. As amostras foram fabricadas sem quebra de vacuo a partir de tres alvos: V2O3; VO2 e V2O5. Um sistema de pulverizacao catodica com tres catodos foi construido para a realizacao deste trabalho. Os resultados mostraram que ambas as configuracoes, camadas e multicamadas, apresentaram TCR semelhantes, da ordem de 2 %/K, e resistencia de folha inferior a 20 kΩ/quad, sendo ambas recomendadas para emprego em bolometros. Palavras-chave: VOX, pulverizacao catodica, bolometros. |
