Alternative Post-FIB Polishing Using Low-Energy Argon Ion Milling to Prevent Grid Redeposition

Autor:	Cecile S. Bonifacio, Pawel Nowakowski, Mary Ray, Paul E. Fischione
Rok vydání:	2021
Předmět:	Argon Materials science Low energy chemistry Metallurgy chemistry.chemical_element Polishing Ion milling machine Grid Instrumentation
Zdroj:	Microscopy and Microanalysis. 27:426-429
ISSN:	1435-8115 1431-9276
DOI:	10.1017/s1431927621002038
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::ce34f1cb24848d20aa12be8611bab9ad https://doi.org/10.1017/s1431927621002038 Zobrazit plný text záznamu