2724 Research on ultraviolet irradiation polishing technology of single crystal diamond semiconductor substrate
| Autor: | Osamu Eryu, Mutsumi Touge, Yasumiti Matsumoto, Seokhyoung Hong, Okiharu Kirino, Hironobu Kashiwagi, Takashi Kawamukai, Junji Watanabe |
|---|---|
| Rok vydání: | 2006 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | The proceedings of the JSME annual meeting. :177-178 |
| ISSN: | 2433-1325 |
| DOI: | 10.1299/jsmemecjo.2006.1.0_177 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|