Finite-element modeling of RF MEMS resonators

Autor:	Ravi Solanki, Swarrup J. Sakthi, Ashutosh Mahajan
Rok vydání:	2020
Předmět:	Microelectromechanical systems Resonator Materials science Mechanical engineering Finite element method
Zdroj:	MEMS Resonator Filters ISBN: 9781785618963 MEMS Resonator Filters
DOI:	10.1049/pbcs065e_ch5
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::ccf02e8ae6e3053f33b7b6662d6d24d3 https://doi.org/10.1049/pbcs065e_ch5 Zobrazit plný text záznamu