Self-formation of SiGe oxide, Ge, and void multilayers via thermal oxidation of hydrogenated epitaxial SiGe films

Autor: Junyang An, Ruiling Gong, Xinyu Li, Ileana Florea, Lise Watrin, Pere Roca i Cabarrocas, Wanghua Chen
Rok vydání: 2023
Předmět:
Zdroj: Vacuum. 213:112072
ISSN: 0042-207X
DOI: 10.1016/j.vacuum.2023.112072
Databáze: OpenAIRE