Autor:	Haifeng Mao, Xianshan Dong, Yihui Liu, K. K. M. B. Dilusha Silva, Lorenzo Faraone
Rok vydání:	2022
Předmět:	Mechanical Engineering Electrical and Electronic Engineering
Zdroj:	Journal of Microelectromechanical Systems. 31:644-652
ISSN:	1941-0158 1057-7157
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::ca79d056f4f975234b742b4381a80099 https://doi.org/10.1109/jmems.2022.3180701 Zobrazit plný text záznamu