Low contact resistance side-interconnects strategy for epi-graphene based electronic integration
Autor: | Kaimin Zhang, Peixuan Ji, Jian Zhao, Dongxun Yang, Mei Zhao, Zhenzhen Zhang, Gen Liu, Lei Ma |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | Journal of Materials Science: Materials in Electronics. 33:17249-17257 |
ISSN: | 1573-482X 0957-4522 |
DOI: | 10.1007/s10854-022-08601-2 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |