Low contact resistance side-interconnects strategy for epi-graphene based electronic integration

Autor: Kaimin Zhang, Peixuan Ji, Jian Zhao, Dongxun Yang, Mei Zhao, Zhenzhen Zhang, Gen Liu, Lei Ma
Rok vydání: 2022
Předmět:
Zdroj: Journal of Materials Science: Materials in Electronics. 33:17249-17257
ISSN: 1573-482X
0957-4522
DOI: 10.1007/s10854-022-08601-2
Databáze: OpenAIRE