Modelling of Rotational Speed of a Digital Spin Coater Using Multi-Level Periodic Perturbation Signals
Autor: | Dhidik Prastiyanto, Sutikno Madnasri, Esa Apriaskar, Nur A. Salim, Oky P. Pamungkas, Arindi Imanindi, Wahyu Caesandra, Tegoeh Tjahjowidodo |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | Journal Européen des Systèmes Automatisés. 55:165-170 |
ISSN: | 2116-7087 1269-6935 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |