OH functional group in ALD/Parylene AF4 coating process

Autor:	Yang, Nelson
Rok vydání:	2017
DOI:	10.13140/rg.2.2.31509.52966
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::c9f8a4309a604dce71c3c84585896cb9 Zobrazit plný text záznamu