Observation of gallium source ‘‘spitting’’

Autor: P. E. Brunemeier
Rok vydání: 1991
Předmět:
Zdroj: Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures. 9:2554
ISSN: 0734-211X
DOI: 10.1116/1.585692
Databáze: OpenAIRE