Observation of gallium source ‘‘spitting’’
Autor: | P. E. Brunemeier |
---|---|
Rok vydání: | 1991 |
Předmět: | |
Zdroj: | Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures. 9:2554 |
ISSN: | 0734-211X |
DOI: | 10.1116/1.585692 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |