Copper wiring onto nonplanar surface using femtosecond laser reduction of glyoxylic copper complex
Autor: | Oishi Tomoji, Mizoshiri Mizue, Ha Phuong Nam |
---|---|
Rok vydání: | 2020 |
Předmět: | |
Zdroj: | The Proceedings of the Symposium on Micro-Nano Science and Technology. :27A2-MN1 |
ISSN: | 2432-9495 |
DOI: | 10.1299/jsmemnm.2020.11.27a2-mn1-2 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |