Copper wiring onto nonplanar surface using femtosecond laser reduction of glyoxylic copper complex

Autor: Oishi Tomoji, Mizoshiri Mizue, Ha Phuong Nam
Rok vydání: 2020
Předmět:
Zdroj: The Proceedings of the Symposium on Micro-Nano Science and Technology. :27A2-MN1
ISSN: 2432-9495
DOI: 10.1299/jsmemnm.2020.11.27a2-mn1-2
Databáze: OpenAIRE