P‐14: Effects of Film Density on IGZO Based TFT Device Reliability

Autor: Jaeyoon Park, Yong-Sung Kim, Ju-Heyuck Baeck, Sehee Park, Jungseok Seo, Jiyong Noh, Kwon-Shik Park, JeomJae Kim, SooYoung Yoon
Rok vydání: 2022
Předmět:
Zdroj: SID Symposium Digest of Technical Papers. 53:1089-1091
ISSN: 2168-0159
0097-966X
Databáze: OpenAIRE