Development of micro inspection mechanism
Autor: | Manabu Murayama, Shigeo Maeda, Kazuhiro Abe, Osamu Tohyama |
---|---|
Rok vydání: | 2002 |
Předmět: | |
Zdroj: | IEEJ Transactions on Sensors and Micromachines. 122:59-66 |
ISSN: | 1347-5525 1341-8939 |
DOI: | 10.1541/ieejsmas.122.59 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |