Autor:	Bernard Courtois, Jean-Michel Karam
Rok vydání:	2008
Zdroj:	2008 Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS.
DOI:	10.1109/dtip.2008.4752934
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::c6ac9c8f3cce1311731522c0221c8ec3 https://doi.org/10.1109/dtip.2008.4752934 Zobrazit plný text záznamu