Silicon Oxynitrides
Autor: | E.P. Gusev, H.-C. Lu, E.L. Garfunkel, T. Gustafsson, M.L. Green |
---|---|
Rok vydání: | 2001 |
DOI: | 10.1016/b0-08-043152-6/01529-1 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |
Autor: | E.P. Gusev, H.-C. Lu, E.L. Garfunkel, T. Gustafsson, M.L. Green |
---|---|
Rok vydání: | 2001 |
DOI: | 10.1016/b0-08-043152-6/01529-1 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |