Autor:	Mahesh Chandramouli, Bin Liu, Zachary Alberti, Frank E. Abboud, Gottfried Hochleitner, Witold Wroczewski, Stefan Kuhn, Christof Klein, Elmar Platzgummer
Rok vydání:	2022
Zdroj:	Photomask Technology 2022.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::c5cbdbbb04785aed5778db289c18976d https://doi.org/10.1117/12.2645895 Zobrazit plný text záznamu