Autor:	Gautum Grover, Vincent Korthuis, Duane S. Boning, Gregory B. Shinn, Simon J. Fang
Rok vydání:	2017
Předmět:	Materials science Chemical-mechanical planarization Metallurgy
Zdroj:	Handbook of Semiconductor Manufacturing Technology ISBN: 9781315213934
DOI:	10.1201/9781420017663-17
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::c5b22cbc0ed7800858f4ed876aa3429a https://doi.org/10.1201/9781420017663-17 Zobrazit plný text záznamu