Prospects for using silicon resonator in resonant pressure transducers

Autor:	D. A. Kudryavtseva, S. R. Taishev
Rok vydání:	2017
Předmět:	Resonator Materials science Silicon chemistry business.industry Optoelectronics chemistry.chemical_element business Pressure sensor
Zdroj:	Engineering and Technology. 2
ISSN:	2587-7704
DOI:	10.21685/2587-7704-2017-2-1-5
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::c47d75ae5a2e6fdbcf30f6d67bb1cccb https://doi.org/10.21685/2587-7704-2017-2-1-5 Zobrazit plný text záznamu