Remote Plasmas CVD and Reactive Sputtering in Magnetron Plasmas
Autor: | A. Ricard, T. Belmonte, T. Czerwiec, S. Konstantinidis |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |
Autor: | A. Ricard, T. Belmonte, T. Czerwiec, S. Konstantinidis |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |