Delayering of 14 nm Node Technology IC with Xe Plasma FIB
Autor: | Jozef Vincenc Oboňa, Tomáš Hrnčíř, Sharang Sharang, Marek Šikula, Andrey Denisyuk, Jiří Dluhoš |
---|---|
Rok vydání: | 2016 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |
Autor: | Jozef Vincenc Oboňa, Tomáš Hrnčíř, Sharang Sharang, Marek Šikula, Andrey Denisyuk, Jiří Dluhoš |
---|---|
Rok vydání: | 2016 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |