ПОЛУПРОВОДНИКОВ ТОНКИЕ ПЛЕНКИЕ В НАНОЭЛЕКТРОНИКЕ

Rok vydání:	2023
Předmět:	тонких пленок кремний германий ширины запрещенной зоны ионно-плазменного n-p- гетероструктура
DOI:	10.5281/zenodo.7833464
Popis:	В статьи приводится сведения о тонких пленках и рассмотрены основные процессы, происходящие при их формировании. Кратко рассмотрена также основные методы их получения и приведены сравнительные характеристики этих методов. Подробно рассмотрена принципы действия и конструкции установка для магнетронного нанесения пленок, работающих на постоянном тока и с использованием высокочастотные (ВЧ) распыления, и ионно-лучевому синтезу наноматериалов.
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::c2e0a214a6a9a6ef81ced1bb87ddcfa6 Zobrazit plný text záznamu