Autor:	Oleg A. Sinkevich, S. E. Chikunov, Vasilii V. Glazkov, E. Kh. Isakaev
Rok vydání:	2023
Zdroj:	Proceeding of Progress in Plasma Processing of Materials, 2001.
DOI:	10.1615/itppc-2000.390
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::c0ea5726c922f7541cb2c3c4ee04ace6 https://doi.org/10.1615/itppc-2000.390 Zobrazit plný text záznamu