Autor:	E. Semerad, Friedrich Rüdenauer, Grazyna Mozdzen, Walter Costin
Rok vydání:	2007
Předmět:	Materials science Transition metal chemistry Metallurgy Analytical chemistry chemistry.chemical_element General Materials Science Sputter deposition Tungsten Condensed Matter Physics Platinum Deposition (chemistry) Quantitative model
Zdroj:	Advanced Engineering Materials. 9:708-711
ISSN:	1527-2648 1438-1656
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::bf36209f1dff4d6881bed5bd04b9dee1 https://doi.org/10.1002/adem.200700125 Zobrazit plný text záznamu Plný text