MEMS actuators for biomedical applications: a review
Autor: | Marwan Nafea, Farah Afiqa Mohd Ghazali, Tariq Rehman, Nazibul Hasan, Kenichi Takahata, Mohamed Sultan Mohamed Ali |
---|---|
Rok vydání: | 2020 |
Předmět: | |
Zdroj: | Journal of Micromechanics and Microengineering. 30:073001 |
ISSN: | 1361-6439 0960-1317 |
DOI: | 10.1088/1361-6439/ab8832 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |