New chemical pathway for large-area deposition of doped diamond films by linear antenna microwave plasma chemical vapor deposition
Autor: | Marián Marton, Marian Vojs, Pavol Michniak, Miroslav Behúl, Vlastimil Rehacek, Michal Pifko, Štěpán Stehlík, Alexander Kromka |
---|---|
Rok vydání: | 2022 |
Předmět: | |
Zdroj: | Diamond and Related Materials. 126:109111 |
ISSN: | 0925-9635 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |