Calibration of Gaussian random field stochastic EUV models

Autor:	Azat M. Latypov, Chih-I Wei, Peter De Bisschop, Gurdaman Khaira, Germain Fenger
Rok vydání:	2022
Zdroj:	Optical and EUV Nanolithography XXXV.
DOI:	10.1117/12.2614142
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::bd2b485c76dbb70dcc93c720420b2489 https://doi.org/10.1117/12.2614142 Zobrazit plný text záznamu