903 Study on Reduction of Nano-fluctuation of Aerostatic bearings

Autor: Masato Kadotani, Hiroshi Yabe, Takakazu Kitagawa, Hiroki Danjyo, Takashi Matuoka, Tomoko Hirayama
Rok vydání: 2009
Předmět:
Zdroj: The Proceedings of Conference of Kansai Branch. :9-3
ISSN: 2424-2756
DOI: 10.1299/jsmekansai.2009.84._9-3_
Databáze: OpenAIRE