Controlling Threshold Voltage of CMOS SOI Nanowire FETs With Sub-1 nm Dipole Layers Formed by Atomic Layer Deposition

Autor:	Dongqi Zheng, Wonil Chung, Zhizhong Chen, Mengwei Si, Calista Wilk, Peide D. Ye
Rok vydání:	2022
Předmět:	Electrical and Electronic Engineering Electronic Optical and Magnetic Materials
Zdroj:	IEEE Transactions on Electron Devices. 69:851-856
ISSN:	1557-9646 0018-9383
DOI:	10.1109/ted.2021.3136493
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::bb33a7d2e6204058dc7856acf7c7b2d7 https://doi.org/10.1109/ted.2021.3136493 Zobrazit plný text záznamu