1209 High output tube-type ECF micropump by using MEMS technology

Autor:	Kazuya Edamura, T. V. X. Nguyen, Shinichi Yokota, Joon-wan Kim
Rok vydání:	2010
Předmět:	Microelectromechanical systems Materials science business.industry Electrical engineering Mechanical engineering Micropump Tube (fluid conveyance) business
Zdroj:	The Proceedings of the Machine Design and Tribology Division meeting in JSME. :79-80
ISSN:	2424-3051
DOI:	10.1299/jsmemdt.2010.10.79
Databáze:	OpenAIRE
Externí odkaz:	https://explore.openaire.eu/search/publication?articleId=doi_________::baf5582548ebf34c85a44a7992f8eb4c https://doi.org/10.1299/jsmemdt.2010.10.79 Zobrazit plný text záznamu