Retention Improvement of HZO-Based Ferroelectric Capacitors with TiO2 Insets
| Autor: | Aleksandra A. Koroleva, Anna G. Chernikova, Sergei S. Zarubin, Evgeny Korostylev, Roman R. Khakimov, Maksim Yu. Zhuk, Andrey M. Markeev |
|---|---|
| Rok vydání: | 2022 |
| Předmět: | |
| Zdroj: | ACS Omega. 7:47084-47095 |
| ISSN: | 2470-1343 |
| DOI: | 10.1021/acsomega.2c06237 |
| Databáze: | OpenAIRE |
| Externí odkaz: |
|