P-PW-04 TRIAL OF NANO-METER ORDER POSITIONING BY OPEN-LOOP DRIVE OF PIEZOELECTRIC ACTUATOR
Autor: | Nobuhiko Henmi, Michihiko Tanaka, Youichi Kubo, Takeru Yamashita |
---|---|
Rok vydání: | 2003 |
Předmět: | |
Zdroj: | Proceedings of JSME-IIP/ASME-ISPS Joint Conference on Micromechatronics for Information and Precision Equipment : IIP/ISPS joint MIPE. 2003:407-408 |
ISSN: | 2424-3132 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |