A study on the Properties of Cu/SiOC(-H)/p-Si(100) and Cu/TaN/SiOC(-H)/p-Si(100) Interface
Autor: | Chang Young Kim, Jong-Kwan Woo, Heang Seuk Lee, Younghun Yu, Chi Kyu Choi, R. Navamathavan |
---|---|
Rok vydání: | 2009 |
Předmět: | |
Zdroj: | Journal of the Korean Physical Society. 55:1960-1964 |
ISSN: | 0374-4884 |
DOI: | 10.3938/jkps.55.1960 |
Databáze: | OpenAIRE |
Externí odkaz: |